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激光共聚焦顯微鏡

簡要描述:激光共聚焦顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,
能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。

  • 產品型號:OLS5100
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-01-30
  • 訪  問  量:2954

詳細介紹

 

激光共聚焦顯微鏡有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的X-Y掃描。
激光共聚焦顯微鏡高度測量原理

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴展圖像)

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